第九十一章 深硅刻蚀工艺
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“哦?都有哪些传感器?” 孙厂长坐直了身体。 “到目前为止,思路已经成熟的,除了上次展示过的加速度传感器,简单一些的压力传感器,水平传感器,还有飞机上会用到的高度传感器,空速传感器......” 陈泉在黑板上,连续写下了一长串的名字。 既然明白了“他”做的东西,都是传感器,再去寻找那二十多个实验的目的,就容易了很多。虽然有些非常复杂的结构,陈泉还是摸不清头绪,但其中不少结构,每个实际可以有多种用途。 更不提,“他”提供了好几种通用结构。 所以,有些传感器,是原来“他”实验里包括的,但也有不少,是陈泉跟赵薇薇讨论后,自行扩展出来的。原理搞清楚了,可以很容易的举一反三。 “还有一个结构比较复杂的陀螺仪。这个可以作为我们第一期作品的收官之作。” “陀螺仪?陀螺仪也能用mems技术加工出来吗?” 刘院长身边的中年人,站了起来。 陀螺仪在很多场合,都是核心传感器。 “您是?” 孙厂长回头询问。 “我是跟老刘一起来的,你们叫我王工就好了。”中年人没有透露姓名,其他人互相看了一眼,也就不问了。 “你还没有回答我的问题呢?小伙子!” “哦。当然能了。由于陀螺仪的造型过于复杂,我还特意带来了它的模型。” 陈泉一摆手,曲燕秋就托着一套,由纸壳做的简陋样品,走上讲台。 ------- 微电子实验室。 “你的手抖什么抖啊?这块晶圆片算是废了!” 张栋被气得浑身发抖。“你知道,这块晶圆片值多少钱吗?加上刚才消耗的各种药水,制剂,一百元!让你一抖,就这么没了!” “没有全废吧。那一半不是还能用吗?” 自知犯了大错的成兴,试图分辨。 1989年的冰城,学生生活费,50元一个月能吃饱,100元,绝对能吃好。 “哦,天啊!我真是受够了。” 张栋的耐心彻底没了。“这是谁出的馊主意!让这些连课都没上过的新生,做半导体实验?” “老张,有点耐心。” 在旁边工作台做实验的科研人员,边cao作,边劝解。“你不能期望所有人都跟陈泉一样,一看就会,一听就懂的。” “老师,让我们两个人一组吧。这次我们小心点。” 云丽上前一步。 有了台阶下,张栋的态度好了一点。“行,你跟成兴一组,于耀赢跟李季一组。剩下的冯言,自己一组。” 被训得满脸通红的成兴,感激的看了一眼,身边不起眼的同班女生。 在mems小组内,人虽然不多,但隐隐分成了几派。 于耀赢,李季,都是陈泉和曲燕秋的嫡系,而冯言,干脆是陈泉二人的干jiejie,前些天发表的中文综述,还捞到了署名,心态都比较好。 而云丽和成兴,被拉入小组,完全不知道背后的原因,比较忐忑,做事情也有些畏首畏尾。 由于相似的处境,两个人最近有点抱团取暖的意思。 ---------- 会议室。 看到样品,感兴趣的客人,纷纷离开座位,围了过去。 “这不对吧。” 王工上上下下,里里外外的把样品看个通透。 “什么不对?” 冰飞的周总工,就在他的身边。 “这种结构,以现在的mems工艺,根本加工不出来吧。” 王工把模型举了起来,抬高到跟视线平齐。“我记得,mems所采用的牺牲层工艺,根本加工不出如此的高深宽比、高垂直度。” 牺牲层技术(工艺),1985年才被引入到半导体加工领域,“表面”微机械加工概念由此产生。之所以,1988年,震惊世界的微静电马达能够问世,就是拜牺牲层技术所赐。 王工的专业性评价,大多数人没有听懂,但并不妨碍大家把目光投向陈泉,等待解释。 “是的。这个陀螺仪,我不准备只采用牺牲层工艺。” 陈泉没有丝毫慌乱。 记忆里,陀螺仪采用的加工工艺,的确发生了变化。 之所以,陈泉要抛出新论文,也跟加速度传感器论文,被《appliedphysicsletters,应用物理快报》采用有些关系。 应用物理快报,在半导体工艺系列里,算是与mems有关联的期刊里,最好的一波期刊了。其sci影响因子超过了4。 (真正的mems专业期刊,还没有面世。) 按理,论文被确定采纳,是件大好事,但陈泉和曲燕秋有点坐不住了。因为不论是他还是她,都没有任何感觉。 前两次的过关,陈泉和曲燕秋,都能明显看到,或者感到一些不同。 例如第一次过关,曲燕秋被实质激活,第二次,干脆苏醒。可现在,没有消息,就是最坏的消息。 所以两个人,不得不继续拔高心理目标,把论文的层次,再推高一个档次。 这次的目标,盯叮住了cns(cell,science,nature),这三本顶级超一流期刊,一次就给他搞到位。 这种超一流期刊论文,在80年代末,不用多,只要有一篇,在国内,就可以开宗立派,直接成立专属实验室,乃至新的专业。 这个陀螺仪,以及它后面的工艺论文,就是陈泉和曲燕秋两个人,精心选出来的目标。 ..... “不是牺牲层工艺?还有别的工艺吗?我怎么没有听说?” 王工眯起眼睛,重新打量起眼前的,年轻得不像话的青年。 “嗯,姑且算是我的发明吧。这次想申请的专利,就有它一个。” 国际专利申请的初期,花钱不算太多,交800到一千美元的报名费,就可以有12到18个月的独占期。没有这个时间差,mems项目组,支付不起加速度传感器的专利申请。 “这个工艺叫什么名字?” “嗯,叫.....” 陈泉挠了挠头。 所有的记忆,都是图像记忆,名字什么的,从来都是没有。 “我还没有给它起名呢。要不就叫深硅刻蚀工艺吧。” 陈泉按照直觉印象,随口起了个名字。名字说出口后,感觉还不错。 “深硅刻蚀工艺?那是什么东西?” 王工满脸迷惑。“能不能给我解释一下,这个工艺是如何实现的?” “能倒是能,不过这可就是真正的核心技术了.....” 陈泉十分为难,看向四周,满脸的不放心。 “王工,你就别难为.....” 林书强跑过来帮腔。 “哈,小伙子,你小瞧了我。” 王工突然虎躯一震,挺直了身体。“只要你能说服我,可以实现眼前的这套陀螺仪,200万的赞助资金,我们航院出了!” “你们航院出了?” 陈泉傻眼了。 不仅陈泉傻眼了,其他人也都傻眼了。 黄楚雄傻眼了,赵良材傻眼了,连林书强都傻眼了。 作为校长,他竟然不知道,下面的航院,居然如此有钱了? 航院的刘院长,其实也傻眼了。 航院哪里有什么钱啊! 但他什么都不说,接着看热闹。 ...... “我们单独聊聊?” 赵良材最先反映过来。这位王工,作为航院院长的客人,身份已经呼之欲出了。 “好。” 王姓中年人直接出手,把讲台上的模型,搂了下来,揣在怀里。“我们走?” ..... “等等,等等!等一下!” 在一边看热闹,看得正高兴的孙厂长,站了起来。“我怎么觉得不对劲呢?今天的会议主题,不是让我们冰飞对项目进行审查吗?怎么现在就要散会?”